实践机会如何获取 芯恩集成电路得回CMP机台金属混浊检测安装及CMP机台专利, 实时发现款属混浊幸免家具性量下落
发布日期:2025-03-09 11:26 点击次数:66
金融界2025年3月7日音问,国度学问产权局信息浮现,芯恩(青岛)集成电路有限公司得回一项名为“CMP机台金属混浊检测安装及CMP机台”的专利,授权公告号CN222553195U,肯求日历为2024年5月。
专利选录浮现,本实用新式提供了一种CMP机台金属混浊检测安装及CMP机台,包括:与CMP机台的排液管安装聚积的金属元素检测器,用于检测所述CMP机台排出液中金属元素的浓度。本实用新式在排液管排液时,金属元素检测器对所述CMP机台排出液中金属元素的浓度进行检测,将各金属元素的实质浓度与其对应的浓度阈值进行比对,以得到检测着力就是否存在金属混浊以实时地发现排出液中金属混浊情况并汲取门径,幸免因金属混浊而导致后续跑货晶圆的家具性量下落,减少了不对格品的产生,进步了家具的良率。
天眼查尊府浮现,芯恩(青岛)集成电路有限公司,诞生于2018年,位于青岛市,是一家以从事诡计机、通讯和其他电子开拓制造业为主的企业。企业注册成本1006720.789212万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标名堂166次,财产痕迹方面有商标信息15条,专利信息576条,此外企业还领有行政许可55个。
本文源自:金融界